质量流量计

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

技术特点

微处理器控制                                            可独立运行

MFC内部采用可编程未处理控制，使用PID控制，可实现       MFC上电后即可使用，用户可通过按键直接对MFC进行

不同工况条件下进行高速准确的流量控制。                   操作，无需连接其他外部电路、PC、PLC等设备。

紧凑的外形尺寸                                          多气体多量程选择

MFC尺寸非常小巧紧凑，用户使用时，不但能够减小系统       MFC内部设置了多种气体模式（H2、N2、Air、He等）

体积和重量，同时能够集成更多的功能模块。                出厂时会根据您的需求进行操作选择。同时，提供不同

量程MFC产品，可根据您的实验需求进行选择。

九针总线串口接口

MFC内置九针串口，可选择使用RS-485控制和4~20ma两          自带气路净化处理

种模式。可通过RS-485总线组网，实现多台MFC同时控制。   MFC进气口自带5um气路过滤组件，保障气体洁净。